电浆清洗机又叫等离子清洗机,目前电浆清洗机已广泛应用于各产业上,如:光电与半导体产业、3C与汽车零组件产业、民生与食品化工业、生医材料产业、烤漆与黏著前处理产业等。下面介绍一下电浆清洗机的工作原理供大家参考:
电浆态
电浆态(plasma)是人类继固、液、气三态之外发现的物质第四态,主要是藉由气体在高电磁场下离子化后,形成一个包括电子(带负电荷)、正离子(偶有负离子)、活性自由基与中性气体分子所组成的高活性气体团,通常会自行发光。在正常状况下,电浆中的正电荷总数约略等于负电荷总数,而具有近似电中性(Quasi-neutral)的特性,故大陆地区的科学家又称之为“等离子体”。常见的电浆现象包括:太阳、闪电、极光、日光灯及霓虹灯等。
电浆清洗机工作原理:
常压电浆清洗机在大气压下工作,通过高压极和地级两端施加交流高频电压,使两电极之间的气体电离而形成电浆。电浆为一部份解离的气体,电子在电场中获得能量后撞击气体分子后产生气体解离;同时激发部份分子或原子产生高能粒子如氧原子、高能氮分子/氧分子等。这些高能量粒子具有很强的化学活性,在接触到污染物表面时立刻与污染物反应成挥发性气体达到清洁的目的。
电浆清洗机工作原理
由于电浆中含有各式活性物质(视所通入气体而定),电浆除了应用在清洁外,进一步还可用来进行材料表面处理、镀膜与蚀刻;图1为常压电浆清洗机应用在表面处理的工作原理示意图,可藉由通入含OH、NH2、COOH等气体经过电浆解离后在基材表面形成-OH,-NH2,-COOH等官能基。图2为触控面板抗污膜制程中电浆表面改质应用实例:玻璃经过电浆清洁及表面改质后在玻璃表面形成-OH官能基,再涂佈上抗污膜分子后,与抗污膜分子一端的-OH产生脱水反应,最后抗污膜顺利与玻璃表面产生键结;对照没有电浆处理的试片发现,电浆处理大幅提升抗污膜分子与玻璃表面的附著力。
电浆清洗机清洗玻璃示意图
以上就是电浆清洗机工作原理的简单介绍,电浆是一个简单又好用的技术,使用电浆清洗机来做表面处理除了增加良率外,甚至可以提高生产速度,帮业者省下不少成本。